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Leistung und Funktion auf kleinstem Raum

Mikrosysteme machen Produkte nicht nur kleiner und leistungsfähiger, sondern auch effizienter, smarter und multifunktionell. Dadurch bieten sich branchenübergreifende Innovationspotenziale für Unternehmen, um ihre Position auf den Weltmärkten zu festigen und auszubauen.

Element - Modul - System

Im Kontext zum ASSIC Motto „Von der Technologie zur Anwendung“ stellt dieser Bereich den Technologielieferanten dar, der die Aktivitäten der anderen Areas wesentlich beeinflusst.

Klein und leistungsstark

Mikrosystemtechnik Komponenten ermöglichen aufgrund ihrer vielfältigen Funktionen einen breiten Einsatz in nahezu allen Industriebranchen. Zukünftige Mikrosysteme müssen äußerst zuverlässig, miniaturisiert, multifunktional und robust sein. Der Trend geht zu hochintegrierten elektronischen Systemen, die spezifisch auf die jeweilige Anwendung adaptiert werden.

Forschungsfelder

Der ASSIC Forschungsbereich der Mikrosystemtechnik umfasst die Entwicklung von Mikrosystemtechnik-Komponenten (Wirkungsweise, Design, Materialien), sowie die zugehörigen Herstellungsprozesse (Simulation, In-Line Analytik).

Folgende Forschungstasks sind definiert:

  • MEMS (Mikro-Elektro-Mechanische) akustische Wandler
  • Fortschrittliche magnetische Sensoren
  • Prozesstechnologien

Im Kontext zum ASSIC Motto „Von der Technologie zur Anwendung“ stellt dieser Bereich den Technologielieferanten dar, der die Aktivitäten der anderen Areas wesentlich beeinflusst.

Forschungsprojekte

Folgende Projekte führt  ASSIC in diesem Forschungsbereich durch:

  1. Fortschrittliche magnetische Mikrosysteme
  2. MEMS/NEMS und Piezodünnschicht akustische Komponenten und Technologien
  3. MEMS/NEMS Charakterisierung und Test
  4. Halbleiter Prozess Simulationen
  5. MEMS Sensoren für raue Einsatzbedingungen