Klein und leistungsstark
Mikrosystemtechnik Komponenten ermöglichen aufgrund ihrer vielfältigen Funktionen einen breiten Einsatz in nahezu allen Industriebranchen. Zukünftige Mikrosysteme müssen äußerst zuverlässig, miniaturisiert, multifunktional und robust sein. Der Trend geht zu hochintegrierten elektronischen Systemen, die spezifisch auf die jeweilige Anwendung adaptiert werden.
Forschungsfelder
Der ASSIC Forschungsbereich der Mikrosystemtechnik umfasst die Entwicklung von Mikrosystemtechnik-Komponenten (Wirkungsweise, Design, Materialien), sowie die zugehörigen Herstellungsprozesse (Simulation, In-Line Analytik).
Folgende Forschungstasks sind definiert:
- MEMS (Mikro-Elektro-Mechanische) akustische Wandler
- Fortschrittliche magnetische Sensoren
- Prozesstechnologien
Im Kontext zum ASSIC Motto „Von der Technologie zur Anwendung“ stellt dieser Bereich den Technologielieferanten dar, der die Aktivitäten der anderen Areas wesentlich beeinflusst.
Forschungsprojekte
Folgende Projekte führt ASSIC in diesem Forschungsbereich durch:
- Magnetic MEMS Modelling
- MEMS Position Sensors
- RF-MEMS
- Environmental MEMS Sensors
- MEMS Microfabrication Technology
- Advanced MEMS Sensors and Transducers
